Was ist ein Plasma-Indikatorband?

Plasma-Indikatorband ist ein intelligentes Detektionsmaterial, das speziell für Vakuumsysteme und Plasmaprozesse eingesetzt wird. Es bietet Echtzeit-Feedback zu Schlüsselparametern durch spezielle physikalische und chemische Veränderungen. Es kann Plasmazustände und Mikrolecks intuitiv anzeigen, die für das menschliche Auge unsichtbar sind.

1. Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung von Plasmaindikatorband

(1). Oberflächenvorbehandlung

Vor dem Einkleben muss die zu prüfende Oberfläche mit Aceton oder Isopropylalkohol gereinigt werden. Nach dem Abwischen 2 Minuten stehen lassen, um sicherzustellen, dass das Lösungsmittel vollständig verdunstet ist. Die Oberflächenenergie nach der Behandlung sollte ≥38dyn/cm betragen, was durch einen Dyn-Pen-Test überprüft werden kann. Berühren Sie die Klebefläche nicht direkt mit Ihren Fingern, um eine Ölverunreinigung zu vermeiden, die zu einer Verringerung der Empfindlichkeit führen kann.

(2). Einfügevorgang

Nachdem Sie das Indikatorband von der antistatischen Trennfolie abgezogen haben, rollen Sie es langsam an einem Ende entlang und üben Sie einen gleichmäßigen Druck von 0,5–1 kg/cm² aus. Drücken Sie die Kante mit einem Silikonschaber an, um Blasen zu entfernen. Kleine Blasen mit einem Durchmesser von ≤1mm sind erlaubt. Lassen Sie es nach dem Einkleben 5 Minuten lang stehen, damit sich die Klebeschicht vollständig ausgleichen kann. Wiederholtes Abziehen und Aufkleben ist strengstens untersagt. Bei jedem erneuten Ankleben verringert sich der Kleber um mehr als 50 %.

2. Versagenskriterien des Plasma-Indikatorbandes

(1) Kriterien für physisches Versagen

Beschädigung des Untergrundes: Es treten sichtbare Risse (Länge > 2mm) oder Delamination auf und der Untergrund verzieht sich irreversibel (Biegeradius > 15°).
Klebeversagen: Restfläche der Klebefläche > 5 % (beeinträchtigt die erneute Haftung), die Schälfestigkeit sinkt auf weniger als 30 % des Ausgangswerts (muss mit einem Zugprüfgerät geprüft werden).
Kontamination und Korrosion: Nicht entfernbare Partikelverunreinigungen haften an der Oberfläche (Partikelgröße > 50 μm und Dichte > 3/cm²), und das Substrat wird durch Plasma erodiert, wodurch Löcher entstehen (Durchmesser > 1 mm).

(2) Kriterien für chemisches Versagen

Abnormale Farbänderungsreaktion: Unter Standardbedingungen (z. B. 50-W-Argonplasma) überschreitet die Farbänderungszeit den Nennwert um ±30 % und der Farbänderungsbereich zeigt eine ungleichmäßige Diffusion (Farbfleckdurchmesserunterschied > 20 %).
Beschichtungsfehler: empfindlicher Beschichtungsablösungsbereich > 10 % (Mikroskopbeobachtung), ΔE-Wert sinkt nach wiederholter Verwendung um > 40 % (Spektrophotometer-Erkennung). Schädigung der chemischen Stabilität: Eine Versprödung des Substrats tritt auf, wenn es korrosiven Gasen (z. B. Cl₂, F₂) und einer kumulativen Ozonkonzentration von mehr als 0,2 ppm über mehr als 24 Stunden ausgesetzt wird.

Das Plasma-Indikatorband muss ersetzt werden, wenn die folgenden Bedingungen auftreten:
Auf dem Untergrund entstehen Risse oder Delaminationen mit einer Länge von mehr als 2 mm. Eine verbleibende Klebefläche von mehr als 5 % beeinträchtigt das erneute Kleben; Die Reaktionszeit beim Farbwechsel erhöht sich im Vergleich zum Ausgangswert um mehr als 50 %; Die kumulierte Belichtungszeit überschreitet die vom Hersteller angegebene Lebensdauer.

3. Lagerbedingungen für Plasma-Indikatorband

(1) Umweltanforderungen

Temperatur: 15-25℃ (Schwankung <±3℃/h)
Lichtecht: UV-Intensität <10μW/cm²
Staubdicht: Reinheitsklasse 1000 oder niedriger

(2) Verpackungsspezifikationen

Originaler Aluminiumfolienbeutel versiegelt (Wasserdampfdurchlässigkeit <0,1 g/m²/Tag)
Lagerung über dem Boden in einem antistatischen Schrank (Oberflächenwiderstand 10³-10⁶Ω)